中国能生产出世界一流的光刻机吗(28nm光刻机量产)
中国能生产出世界一流的光刻机吗
1.光刻机又名曝光机,是生产大规模集成电路的关键设备,将电路结构临时"复制"到涂有光刻胶硅片上的过程,制造和维护需要高度的光学和精密制造技术。高端光刻机被称为“现代光学工业之花”,制造难度很大,全世界只有少数几家公司能制造。
2.这台光刻机仅零部件就超过了十万个,螺栓数量超过4万个,3000多条线路,内部软管加起来,就有两公里长,设备重量达到了180吨,如此庞大精密的设备安装调试就需要几个月。
3.极紫外光系统来自于美国公司Cymer,一种波长极短的极紫外光,该技术是使用激光产生等离子源产生13nm的紫外波长。这种光源工作在真空环境下,产生紫外波长,然后由光学聚焦形成光束,光束经由用于扫描图形的反射掩膜版反射,由于极紫外光的固有特性,产生极紫外光的方式十分低效,能源转换效率只有 0.02% 左右。
4.高精度镜头采用蔡司技术,蔡司是德国历史悠久的光学仪器厂商,其产品向来是“高贵”的代名词。同样的一个镜片,不同工人打磨,光洁度相差十倍。镜片材质均匀,更需要几十年甚至上百年的技术沉淀,EUV光刻机采用的镜头要求:制作一个地球面积大小的镜头,误差在一根头发大小。
28nm光刻机量产
1.ASML的7nm光刻机分为两个型号:NEX 3400B和NXE 3400C。台积电使用的就是3400B光刻机,它一小时能生产125片晶圆,一片8000美元,一天马不停蹄的工作,产能2400万美元,一月2亿美元;3400C,产能每小时170片,同样的计算方式,一月8亿美元。
2.答案是否定的,美国对华为已经制定了更细致,更精准的制裁手段。中芯国际虽然没有在列,但按照美国2019年的“实体清单”做法,可能会有更多中国企业别列入。我猜,将来中芯国际也难逃美国的魔掌。
3.ASML有个奇特的规定,只有投资ASML,才能获得优先供货权。所以,台积电,特尔、三星、台积电、海力士等都是ASML的股东,ASML也就有着充足的资金支持。所以,ASML并不是荷兰的ASML,而是整个西方的ASML。
4.有血性的中国人听到美国的制裁,都说:我们自己造,当年“两弹一星”我们都能造出来。虽然我也不想承认,但必须得承认:眼下我们造不出来!ASML用的镜头是德国蔡司的,打破摩尔定律的EUV光源,全球只有ASML。
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